直到2014年，徐腾的银魅计划和华腾工业联合体依然存在着一些缺失的领域，半导体应用材料的缺失比例就比较大，光刻机也是其中之一，而且是致命性的缺失。

从2003年开始，徐总就已经在徐腾的建议下，用最强势的投资推动国内的光刻机产业发展，同时和光电所、微电所合资了两家高科技企业。

2008年以后，这两家企业陆续纳入华腾科学发展基金会的旗下投资项目，2012年整合为一家沪州华微光电科技公司，基本是组建了国内光刻机领域的梦之队，在比利时拥有分支研究机构，与imec合作。

2013年，华微光电公司终于实现国内45nm超高精度光刻机的工业化产能，基本解决军工需求，确保asml必须对华出口28nm/22nm/20nm这一代的光刻机。

这是在半导体制程领域起决定性作用的前道光刻机市场，落后asml整整两代，最大的好消息是光源可以国产化，这其实是最关键的，不用被蔡司卡脖子……真要说团队，其实也是蔡司的团队，先在英国隐蔽并购一家规模不大的光学仪器公司，05年挖走蔡司的部分核心人员，09年彻底并入华腾高科集团旗下的海纳光控，结合国内的光学光源系统的人才组建梦之队。

至于后道、led光刻机领域，华微光电的研发速度更快一些，这个领域主要用于芯片的封测部分，到2014年时，已经和国际主流厂商没有较大的差距，利用成本优势，占据了接近50%的国际市场。

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