为了解决这个问题,成永兴采用了一种全新的先进方式,那就是:
碰运气!
在一张图纸上,相同的造型,同时生产多种尺寸出来。
反正半导体工艺,生产一种尺寸,也是生产,生产多种,也是生产,除了画图费点事,其它的工作,基本类似。
等流片成功之后,实际检测,哪一个效果更好,就用哪一个!
多亏这个构造,结构简单,排列组合数量少。
这次的流片数据采集之后,有了一定的参考,下一次,就可以缩小范围了。这种碰运气,多碰几次,材料的各种参数,也就有个大概的估计。
现在做mems项目,同一个样品,可以出无数个论文。例如,同一个造型,在写变量检测的论文的同时,还可以写一篇加工工艺的论文。
甚至那些失败的样品,也可以根据实测结果,写一篇半导体材料本身的论文。例如各种相关强度,变形等数值的经验公式。这些数据,都是未来软件开发的重要设计依据。
在这个领域,差不多算得上完全空白,随便写点什么,都可以很容易的就发表出去。
这些细节,同伴们并不知道,也就没有注意。几个人把处理好的晶圆,放到了光源下,等待曝光。
时间过得很快,转眼到了午饭时间。
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第一次做这种操作,大家都兴致勃勃,再加上危险化学药品的提神作用,三个人的精神,整个上午也算是高度紧张。
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