研究生的贴在电子发烧友论坛里火了, 连翻十几页，盖了一栋千层大楼，楼里都是来求证的半导体圈内人。

【13.5nm光源系统设备专利注册……吹吧, 吹到牛皮破了说不定国外人真相信了。】

【专利都申请, 不可能有假吧？】

【建议你查一查汉芯事件，当年凭一块美国二手芯片在国内注册专利, 狂揽十几亿。学术圈造假比比皆是，诺贝尔奖都能造假, 何况一个专利？】

【要真是13.5nm光源系统设备研发出来, 堪比euv的国产光刻机能造出来了吧？我国多久能追上asml？】

【傻吗你？人家asml四五十年前开始研究光刻机，集齐全球千多名顶级工程师, 镜头用德国蔡司，光源用美国cymer, 垄断双工作台技术……我国追上现在的asml至少需要二十年！】

【我国虽然不至c举国之力研发光刻机，但这方面n布局二十多年，不至casml比到尘埃去吧？】

【申市微电子科技目前只能造出90nm工艺制程的光刻机，还不确定是否能量产，你说差距多大？】

【怎么歪楼了？不是涛13.5nm光源系统设备是否真的研发出来吗？】

【假如！假如13.5nm光源系统设备研发出来, 我国多久能拥有一台国产euv？】

【保守估计, 明年下个季度。但n有可能, 今年年底可实现国产euv验收。】

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