五轴机床在国内是首创,而六轴联动,在全世界都算是顶尖技术,虽然只是多加一个夹具,对于操控系统的要求,却呈几何级别的提升。
但搞科研,本来就是从不可能里找出可能性,然后把它实现出来的过程。
井熙甩出需求,转头又回到了自己的实验室。
深紫外光刻机的发展也遇到了壁垒,虽然他们已经成功攻克了200纳米,但是卡在193纳米上,怎么都突破不了了。
“是不是只能继续升级,用极紫外光做光源才有可能?”蒋芸还是摩拳擦掌,极紫外光这个神器都藏好久了,她早就迫不及待想把这宝贝放出去吓唬人了。
井熙却摇头。
在她的记忆里,深紫外光刻机的还有将近二十年的活跃期,肯定没可能这么快就到达极限。
“但是深紫外光的波长最低也只有193纳米,再往下走,这把刀也刻不出更细的痕迹了。”王聪也提出疑义。
他对光电仪器的研究有着非比寻常的兴趣,在激光全息以外,顺便还做了深紫外光杀菌和生化检测的相关项目,所得的分红多到已经进入了不在乎钱数的境界,只一心一意做科研,而且能充分享受其中的乐趣。
“肯定还有其他办法。”井熙敲着脑门,懊恼自己的记忆力不够好,实在想不起更多的细节了。
上辈子她看过的资料里,极紫外光刻机相关的内容肯定是远远超过深紫外光刻机的,但是在她依稀的印象里,深紫外光刻机肯定也是成功触碰到百纳米这个数量级的,只可惜,就是怎么都想不起来具体文献了。
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