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第416章 PECVD

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奉天

晚餐之后,客人们旅途劳累,被送到招待所休息去了。

第二天上午,宾主重新落座,继续进行昨天的会谈。

mocvd的讨论,成永兴基本上没有怎么参与。这些led生产上的事情,已经不怎么值得他投入精力。有iii型设备,不错,没有,也没有关系。

一台iii型,可以抵过四五台ii型,那么就上五台ii型就好了。

一切都可以对付,唯独不能对付的就是时间。

———————

成永兴这次来,是针对lcd计划的一台核心机。

在lcd的生产步骤中,有个跟mocvd功能和地位都很接近的设备,只不过在液晶生产里,它的名字叫做 pecvd!

lcd产线升级的过程中,从一代到二代之中,发生的最大变化,就是这台pecvd。

有了这台pecvd,就是第二代,没有,就是第一代!

pecvd ( plasma enhanced chemical vapor deposition )的中文解释,是等离子体增强化学气相沉积法。

它是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体。而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

美国应材于1993年生产的akt-1600型cvd,一经推出,就垄断了这个市场。

mocvd,已经属于很昂贵的半导体设备了,一台量产型的价格在2000万左右。

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